반력보상 장치를 이용한 초정밀 스테이지의 진동저감 장치의 설계와 검증

Author

서창훈, 이문구, 김현정, 이형구, 전용호

Journal

한국정밀공학회 학술발표대회

Page

92-93

Year

2015

Link

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